Vortrag
Freitragende SU-8 Strukturen
Montag 21.05.2007, 09:15 - 12:00
Veranstaltungsort:
TU München, Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, Theresienstr. 90, Geb. N4, Seminarraum N1414 (1.Stock)
Oberseminar Elektrophysik und Physikalische Elektronik: Dipl.-Ing. Dirk Eicher, Institut für Elektromechanische Konstruktion der TU Darmstadt