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SUMMARY:Freitragende SU-8 Strukturen
DESCRIPTION:Oberseminar Elektrophysik und Physikalische Elektronik: Dipl.-Ing. Dirk Eicher, Institut für Elektromechanische Konstruktion der TU Darmstadt
CONTACT:Niessner@tep.ei.tum.de
LOCATION:TU München, Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, Theresienstr. 90, Geb. N4, Seminarraum N1414 (1.Stock)
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