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SUMMARY:Vom Mini- zum Mikrogetriebe mit Hilfe des Direkt-LIGA Verfahrens
DESCRIPTION:Oberseminar Elektrophysik und Physikalische Elektronik: Dr. Udo Kirsch, Micromotion GmbH, Mainz
CONTACT:Dipl.-Ing. Martin Nießner
LOCATION:TU München, Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, Theresienstr. 90, Geb. N4, Seminarraum N 1414 (1.Stock)
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