Abstract: Ein thematischer Schwerpunkt in meiner Arbeitsgruppe umfasst die Charakterisierung von gesputtertem Aluminiumnitrid und deren Anwendung in MEMS Resonatoren zur z.B. Viskositäts- und Dichtebestimmung von Flüssigkeiten. Es werden zentrale Ergebnisse von AlN-Dünnfilmen in Bezug auf mechanische, elektrische und elektro-mechanische Materialkenngrößen und ihre Abhängigkeit von Sputterparametern und der Substratvorbehandlung vorgestellt. Diese Erkenntnisse dienen als Eingangsgrößen für die Auslegung der MEMS Resonatoren. Ein weiterer Schwerpunkt umfasst neuartige Ansätze zur Entwicklung von Drucksensoren für Messaufgaben bis 700°C für z.B. luftfahrtbezogene Anwendungen. Als Substratmaterialien kommen Saphir und hochtemperaturstabile Nickelbasislegierungen zum Einsatz. Ein neuartiger Messaufbau erlaubt die Charakterisierung des K-Faktors von dünnen Filmen bis in den 600°C Bereich. Abschließend wird als 3. Themenschwerpunkt der aktuelle Stand im Bereich „Energy Harvesting“ am Flugzeug vorgestellt. Ein thermoelektrischer Generator wird zur Erzeugung von elektrischer Energie verwendet, um energieautarke Sensorknoten zu realisieren, die an der Flugzeughülle angebracht werden sollen.