Vortrag
"3D-Integration - Technologie und Anwendungen" Herstellung gestapelter vertikal integrierter Bauelemente zur Miniaturisierung und Performance-Steigerung von Mikrosystemen
Montag 04.02.2013, 09:15 - 11:00
Veranstaltungsort:
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, Theresienstr. 90, Geb. N4, Raum N 1414, TUM Nordgelände
Vortragender
Dr. Peter Rammm, Fraunhofer EMFT, München
Oberseminar Elektrophysik und Physikalische Elektronik
Veranstalter
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik der TUM
Ansprechpartner
Dipl.-Ing. Martin Aigner, aigner@tep.ei.tum.de