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Analytisches Modell für elektrische Randfelder an MEMS-Kammkondensatoren

Veranstaltungsort:

Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, Theresienstr. 90, Geb. N4, Raum N 1414, TUM Nordgelände

Vortragender

Dr. Hanno Hammer, SensorDynamics AG, Graz, Österreich

Oberseminar Elektrophysik und Physikalische Elektronik

Veranstalter

Lehrstuhl für Technische Elektrophysik

Ansprechpartner

Dipl.-Ing Yvonne Gawlina, Tel. 089-289 23103

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