Vortrag
Parallele Produktion von Mikrosystemen auf Grundlage der RMPD Verfahren
Montag 15.06.2009, 09:15 - 11:00
Veranstaltungsort:
TUM Lehrstuhl für Technische Elektrophysik , Theresienstr. 90, Geb. N4, Seminarraum N1414
Vortragender
Dipl.-Ing. Reiner Götzen, microTEC Gesellschaft für Mikrotechnologie mbH, Duisburg
Veranstalter
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik: Oberseminar Elektrophysik und Physikalische Elektronik im Sommersemester 2009
Ansprechpartner
Dipl.-Ing. Yvonne Gawlina